隨著半導體制造工藝的發(fā)展，對生產(chǎn)環(huán)境要求越來越高，潔凈度達到千級百級。在以往人們只注意顆粒物的過濾處理，忽視了分子級的氣態(tài)污染物（AMC）的處理。AMC中的酸性氣體、堿性氣體、有機物、難熔性有機物和摻雜性有機物之間產(chǎn)生不必要的化學反應，影響晶圓表面和工藝設備的光學器件，從而在芯片生產(chǎn)過程中產(chǎn)生不良品，降低機臺設備的生產(chǎn)效率。然而高效HEPA或超高效ULPA粒子過濾器根本無法過濾掉有害氣體。
半導體制成需要使用各種化學工藝氣體，這些氣體也會隨著工藝的過程，由真空泵從反應腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣；大量的酸、堿等化學品以及有機溶劑和揮發(fā)性液體等在半導體制成的不同工藝中使用，也產(chǎn)生有毒有害廢氣，半導體生產(chǎn)廠家需要對工藝廢氣進行有效的處理才能排入大氣中，確保安全的工作環(huán)境，保護周邊環(huán)境的安全。
來源于工藝流程中使用各種酸液對芯片的腐蝕、清洗過程以及擴散等工序，主要污染物為氟化物、氯化氫、氮氧化 物、硫酸霧等
來源于使用氨水、氨氣的刻蝕工序，主要污染物為NH3；有機廢氣：來源于清洗、勻膠、去膠、刻蝕、顯影工序使用有機溶劑清洗過程，主要成份為異丙醇、光刻膠等有機物
來源于擴散、離子注入和CVD 等工序使用的特殊氣體，如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等，除部分在工藝中反應消耗外，其余均以尾氣的形式排放
蝶萊半導體廠房廢氣處理裝置是非常高效的廢氣處理裝置，用于高效處理半導體制成產(chǎn)生的各種有毒有害廢氣，也可以與其他過濾系統(tǒng)配合使用作為精過濾段，過濾后的氣體濃度可以達到嚴格空氣質量標準，廣泛應用于微電子行業(yè)設施及工廠，滿足最嚴格的排放和法規(guī)要求。
在MAU (新風空調箱) 內加裝化學過濾器
在FFU(風機過濾機組)上方加裝化學過濾器
在室內放置化學空氣凈化機
在MAU (新風空調箱) 內加裝化學過濾器，過慮器內加載干式化學過濾材料, 高效吸收凈化有害氣體。
在 FFU (風機過濾機組) 上方加裝化學過濾器，過慮器內加載干式化學過濾材料，高效吸收凈化有害氣體。
在潔凈室中使用蝶萊空氣凈化機，內部使用了化學過濾器和HEPA過濾器，高效吸收凈化有害氣體，可以有效保證制程環(huán)境潔凈度。
比普通活性炭更強的吸附能力，更長的使用壽命。
化學吸附并反應，不可逆轉，產(chǎn)生無毒無害物質
比一般的活性炭能夠去除更廣譜的氣態(tài)污染物
| 對比 | 普通過濾技術 | 化學過濾技術 |
|---|---|---|
| 濾料 | 活性炭 | PureAir過濾材料 |
| 工作原理 | 物理吸附 | 化學吸附和反應 |
| 是否逆轉 | 可逆轉，產(chǎn)生臭味 | 不可逆轉，無異味，轉化為無害固件 |
| 可除污染物 | VOCs（乙苯，二甲苯）、臭氧，對許多污染物無效 | 甲醛、二氧化硫、硫化氫等異味氣態(tài)污染物 |
| 物理特性 | 人造產(chǎn)品、無毒、可燃物質、在潮濕環(huán)境中易滋生微生物 | 定制產(chǎn)品、無毒無害、阻燃（UL認證）、防止細菌和真菌滋生 |
| 使用成本 | 單價便宜，但過濾效率低，更換周期短，經(jīng)常更換，多事費力 | 單價較高，但過濾效率高，更換周期長，如硫化氫處理量為普通活性炭23倍 |
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粵公網(wǎng)安備 44011202001708號
